基于空间光耦合系统的芯片温度传感器

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摘要：研究了一种硅光子芯片空间光耦合系统，简化了集成光子芯片用光纤阵列耦合的方式，通过将1550 nm 附近波段的光通过空间光学系统，经光栅耦合器垂直耦合进入集成光子芯片，经过波导与微环谐振腔实现光学传感，采用多模光纤收集出射能量，并进行温度传感测试。实验结果表明，用波长探测方式，得到自由光谱范围（FSR）为0.85 nm ，Q 值为16321的环形谐振腔直通端透射谱线。（剩余9519字）

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