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摘 要:为提高氮化硅悬浮液的稳定性以制备均匀致密的氮化硅涂层,本文对氮化硅粉在1130℃空气条件下高温煅烧3h。通过对比煅烧前后氮化硅重量差异,理论计算了氮化硅的氧含量,结合SEM和EDS测试方法,研究了煅烧前后氮化硅形貌和氧含量变化,测试了氮化硅悬浮液电导率,制备了氮化硅涂层用于多晶铸锭。结果表明:高温煅烧氮化硅粉氧含量为4.01%,在纯水和1%粘结剂溶液中具有较高的稳定性,氮化硅涂层均匀致密。(剩余4891字)
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高温煅烧氮化硅悬浮液性能研究和涂层应用
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