半导体陶瓷零部件种类及应用

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摘 要：随着科技的进步，手机、电脑、电动汽车、机器人等智能产品融入到人们的生活中。这些产品中存在着大量的半导体芯片，制备芯片需要用到半导体设备，如刻蚀机、光刻机、离子注入机等。打开半导体设备，里面大部分部件是陶瓷零部件，陶瓷零部件具有耐高温、耐腐蚀、精度高、强度高等优异性能，其可以很好地用在半导体设备内。（剩余6223字）

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