TOPCon太阳电池背面叠层poly工艺的优化及其对电性能的影响

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收稿日期：2024-01-11

基金项目：基础研究计划自然科学基金——青年基金项目（BK20220240）

通信作者：高纪凡（1965—），男，硕士，主要从事晶体硅太阳电池及光伏组件、储能等创新技术方面的研究。Jifan.gao@trinasolar.com

DOI： 10.19911/j.1003-0417.tyn20240111.03 文章编号：1003-0417（2024）04-73-07

摘 要：通过增加TOPCon太阳电池poly层中的磷掺杂浓度可以增强poly层与硅基底之间的钝化效果并提高poly层与金属电极间的接触能力，但过高的掺杂浓度会导致磷原子扩散到硅基底，破坏氧化层与硅基底之间的界面钝化效果。（剩余9803字）