太阳能级硅片清洗液原料配比研究

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DOI： 10.19911/j.1003-0417.tyn20220411.01 文章编号：1003-0417（2023）06-31-05

摘 要：太阳能级硅片在金刚线切割和打磨过程中会受到严重污染，需要采用物理或化学方法去除其表面的污染物，以满足硅片制绒前对洁净度和表面状态的要求。为了减少对硅片的过度腐蚀并保持清洗液的持久性，通过正交试验法进行实验，确定硅片清洗液中表面活性剂成分的最佳配比。（剩余6043字）

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