半导体洁净室污染物扩散特性研究

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摘 要： 随着集成电路集成度越来越高，对半导体洁净室洁净度的要求也逐渐变高，因此对洁净室内污染物浓度的控制显得尤为重要.文中针对某洁净室内不同位置设备的开启状态对污染物扩散的影响进行了数值模拟，比较了6种开启方案的速度场和浓度场.结果表明：活塞流能够有效控制污染物的扩散；处于活塞流区域的工作人员呼吸（剩余7994字）

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