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关键词：衍射光波导镜片；空心玻璃微珠；叠合装配；粒径精度；间隔误差 中图分类号：TH162 文献标识码：A doi：10.37188/OPE.20253309.1420 CSTR：32169.14.OPE.20253309.1420
High-precision assembly interval （剩余16321字）
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基于空心玻璃微珠的多层衍射光波导镜片高精度装配间隔控制
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