热致相分离法制备用于湿电子化学品纯化的聚苯硫醚微滤膜

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关键词：膜分离技术；聚苯硫醚；热致相分离；耐溶剂性；湿电子化学品

湿电子化学品是指那些主要成分纯度超过99.99%、杂质离子和微粒数量极少的化学试剂，主要用于集成电路、液晶显示、太阳能电池、LED等精细电子领域。行业内，国际半导体设备和材料协会制定了半导体制程设备安全准则（SEMI），将颗粒物大小及浓度作为划分湿电子化学品等级的主要依据。（剩余6753字）

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