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摘要:电子探针分析具有微区、原位、无损、分析速度快、分析元素范围广、定量分析准确度高等特点,是固体物质微区原位元素组成定量分析的主要技术手段,广泛应用于材料、地质、冶金、矿产、电子、生物、考古、空间科学等领域,但我国的电子探针长期依赖于进口,存在着“卡脖子”的风险。 本文回顾了电子探针的研制历史,梳理了国内外电子探针的研制现状,总结了我国电子探针研制存在的问题和短板,指出了电子探针研制的发展趋势,以期为我国电子探针的研制提供借鉴。(剩余10551字)
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电子探针的研制现状与分析
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