基于气流组织数值模拟的电子工业洁净厂房通风方案

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中图分类号：TB44；TQ324.8

文献标志码：A

随着电子技术的飞速发展，电子元件的特征尺寸越来越小，制造半导体芯片须要使用结构复杂的微机电系统和集成电路，芯片制造过程须要在电子工业洁净厂房（洁净厂房）这种受控环境中进行[1]。通常，按照不同气流方向，洁净厂房根据室内气流方向可分为垂直或水平方向的单向流、非单向流3种方案。（剩余15396字）

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