可调谐半导体激光器压电驱动系统的优化设计

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摘要：

针对可调谐半导体激光器中普遍存在的输出光频率无跳模调谐范围小、扫描频率低、结构复杂等亟待解决的问题，研究了可调谐半导体激光器内部压电驱动系统的动力学特性。基于提高回转精度、降低轴心偏移量的设计目标，提出了一种多叶片并联的星型柔性机构结构。基于Lagrange方程和Duhamel积分，分别建立了压电驱动系统的运动微分方程和振动方程，在此基础上建立了柔性机构的动力学模型并对其结构参数进行了优化。（剩余16800字）

试读结束

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