激光辅助水射流加工砷化镓晶片微槽的实验研究

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摘要：

对干激光、低压水射流辅助激光和激光辅助水射流技术加工砷化镓晶片微槽进行了对比实验，结果表明，激光辅助水射流技术适合加工砷化镓材料，它能够加工出晶片表面无污染、大深度、小热影响区宽度、大深宽比的高质量微槽，加工表面微观形貌均匀、微裂纹少，优于其他两种加工方式。实验研究了激光辅助水射流加工砷化镓晶片微槽的切割性能，结果表明，加工参数（激光脉冲能量、水射流压力、加工速度、水射流倾斜角度、焦平面位置和加工次数）对微槽深度、微槽宽度和材料去除率具有显著影响。（剩余18524字）

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