基于控制研磨深度的金刚石研磨质量分析
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关键词 分子动力学；金刚石；研磨深度；亚表面损伤
中图分类号 TG58；TQ164 文献标志码 A
文章编号 1006-852X（2023）01-0118-08DOI 码 10.13394/j.cnki.jgszz.2022.0048
收稿日期 2022-04-14 修回日期 2022-07-11
金刚石具备超高硬度、高导热系数和高弹性模量等优良的物理化学特性，在超精密刀具、对顶砧、光学窗口等民用和军事领域上得到很好的应用[1]。（剩余4953字）