电子束光刻构筑的纳米世界

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奇妙的纳米世界是指由数个到数百个原子组成的、尺寸在1～100纳米范围内并具有崭新功能的物质结构。历史上由于缺乏纳米制造技术，这个尺寸范围内所发生的自然现象一直是科学认知的盲区。1980年代，以计算机为代表的信息技术、材料生长技术和高精密仪器设备的发展，催生了纳米科技。其中，电子束光刻作为一种先进纳米制造技术，为科技人员创造了形形色色、多元的纳米结构和器件，构筑起了一个包罗物理、化学、生物等众多交叉学科的、丰富多彩的纳米世界。（剩余4170字）

试读结束

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