不同粒径磨粒对 Si3N4 陶瓷基板薄片双面研磨性能的影响

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中图分类号：TH16

DOI：10.19504/j.cnki.issn1671-5365.2025.06.07

引用格式：，等.不同粒径磨粒对 Si3N4 陶瓷基板薄片双面研磨性能的影响[J].宜宾学院学报，2025，25（6）：47-52.Citeitas：ZHAOCAOX，ENGXetal.If（剩余8470字）

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