扫描电镜示值误差测量不确定度评定分析

  • 打印
  • 收藏
收藏成功
微博 QQ空间 微信


打开文本图片集

摘要：文中介绍了扫描电子显微镜的原理和应用，分析了扫描电子显微镜测长示值误差的不确定度来源，包括测量重复性，测量电压，测量距离，测量倍数，图像分辨率以及标准栅格样板。文中以测量1μm标准栅格样板为例，评定各个标准不确定度分量，计算合成标准不确定度和扩展不确定度，评定结果为5.4nm，小于扫描电子显微镜测长示值误差计量特性1/3MPE的要求。（剩余4472字）

试读结束

目录
monitor