片上微腔激光器发展概述

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中图分类号:TN248.4 文献标识码:A

DOI: 10. 37188/CJL. 20250166 CSTR:32170.14. CJL. 20250166

1引言

片上微腔激光器相比其他类型如气体、固体激光器和光纤激光器等,具有小型化、易集成、CMOS工艺兼容、高效率、低功耗、高光束质量等特点,一直是光电子领域的研究热点。(剩余49538字)

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