基于混合磨粒的石英玻璃化学机械抛光效果试验

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关键词石英玻璃；化学机械抛光；氧化剂；混合磨粒；协同增益

中图分类号TQ171.6文献标志码A

文章编号 1006-852X（2026）01-0134-09

DOI码 10.13394/j.cnki.jgszz.2024.0197

收稿日期 2024-12-09 修回日期2025-04-07

石英玻璃是由二氧化硅（ SiO2 构成的一种具备多种特殊物理和化学特性的工业技术玻璃，具有较高软化温度、优异光谱透过性、高度光学均匀性、较低热膨胀系数、出色化学稳定性、耐辐照性以及较长工作寿命等优点[1-2]。（剩余17435字）