攻克“最后堡垒”：国产EUV难点何在？

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2025年9月24日，上海，2025工博会，上海微电子（SMEE）展台，国产光刻机吸引参观者

近日，某外媒“爆料”了所谓的中国“曼哈顿计划”，称中国科学家在深圳造出了美国多年来严防死守的极紫外（EUV）光刻机的原型机。

中国没有官方消息证实这一“爆料”，可能真，也可能伪。有意义的是，西方媒体的报道透露着西方对中国突破高端光刻设备的焦虑。（剩余3357字）

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