SiOxNy 薄膜对量产n型双面TOPCon单晶硅太阳电池正面钝化效果的影响研究

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中图分类号:TM914.4+1 文献标志码:A

0引言

n型双面TOPCon单晶硅太阳电池(下文中的TOPCon太阳电池均指此类太阳电池)是一种具有较高光电转换效率的新型太阳电池,近年来发展迅猛[1-3]。此类太阳电池最显著的特点是采用n型硅片,在硅片正面先进行硼扩散形成p-n结,然后制备介质钝化膜结构,从而减少了硅片正面的悬挂键,降低了其表面复合[4-5]。(剩余13879字)

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