皮秒激光对陶瓷基板微裂纹及抗热冲击的影响

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摘 要:激光切割是陶瓷加工中常用的方法之一,具备高效、灵活、清洁等多重优势。随着功率半导体技术的迅猛发展,陶瓷及其覆铜板的激光加工需求日益迫切。通过对比CO2激光和红外皮秒激光对陶瓷边缘微裂纹及工件可靠性的影响,研究红外皮秒激光的功率、频率和切割速度等工艺参数对陶瓷覆铜板的热影响、微裂纹、抗折强度及抗热冲击的具体作用。(剩余9079字)

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