微光学、微电子、微机械的结合产生出一类新的应用范围很广的器件——微型光机电系统（MOEMS），它也是机、电、光、磁、化学、传感技术等多种技术的综合。MOEMS日益成为新的光学工具，已经对许多基于光学的仪器显示出应用前景。作为MOEMS的一种，微型光谱分析仪具有许多大型光谱仪所不具备的优点，如重量轻、体积小、探测速度快、使用方便、可集成化、可批量制造以及成本低廉等，像普通光谱仪一样微型光谱仪有着巨大的应用市场，可以应用在实验室化学分析、临床医学检验、工业监测、航空航天遥感等领域，因而引起了人们广泛的兴趣。
一、采用新型滤光技术的微型光谱仪
美国Brimrose公司和Jet Propulsion实验室联合设计一种微型电晶体NIR光谱仪。这种基于AOTF的反射型近红外微型光谱仪主要造用于航天领域，使用发光二极管（LED）阵列作为光源，光纤作为光波传输介质，该光谱仪重量小于250克，尺寸小（9.2×5.4×3.2cm），超快速（4000波长/秒），具有高可靠性，经过美国国防核子局的防辐射测试。
美国Hughes Santa Mara研究中心研制的线性楔形光谱仪（专利产品），是由一个微小模状滤光片和一个阵列检测器组成，可以对多个光谱频带进行检测。（剩余1710字）